羅茨螺桿真空機組組配用的前級泵，采用進口等螺距螺桿真空泵。主要表現(xiàn)在振動小、噪聲低、抽氣效率高、高壓運轉(zhuǎn)時可靠信好等。由于上述真空泵的諸多優(yōu)點，從而保證了機組具有良好的抽氣效率。
 

　　羅茨螺桿真空機組是由常規(guī)羅茨泵與干式螺桿泵串聯(lián)組成，同時配有管路、閥門、機架及電器控制箱等，當前級干式螺桿泵工作后，由真空規(guī)頭及真空繼電器來控制羅茨泵的起動。由于羅茨泵與螺桿泵轉(zhuǎn)動部件都是不接觸件，因此機組具備運轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低、振動小，結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小等優(yōu)點。
 

　　羅茨螺桿真空機組因節(jié)能效果明顯，高真空區(qū)抽氣量大，真空度高 , 是電工、電子、 鍍膜、冶煉、熱處理、干燥、蒸餾、制藥、化工、軍工、航天等行業(yè)理想的抽氣設備。特別適用于要求無油蒸汽污染的半導體行業(yè)，同時也適用于含有大量水蒸汽及少量粉塵的抽氣場合。
 

　　羅茨螺桿真空機組產(chǎn)品特點主要表現(xiàn)在振動小、噪聲低、抽氣效率高、高壓運轉(zhuǎn)時可靠信好等。由于上述真空泵的諸多優(yōu)點，從而保證了機組具有良好的抽氣效率。
 

　　目前機組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵，由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統(tǒng)被前級泵抽到羅茨泵的允許起動壓力后才可起動羅茨泵工作。因此，一般在機組進氣口處須安裝電接點壓力表，通過電接點壓力表可控制羅茨泵的啟動和停機。即當前級VPS螺桿泵起動后開始對系統(tǒng)進行預抽,當系統(tǒng)壓力(即羅茨泵進氣口處壓力)達到允許羅茨泵啟動的設定壓力(即電接點壓力表綠針所指壓力值)時，羅茨泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下，由于發(fā)生特殊情況當羅茨泵進氣口壓力高于電接點壓力表上綠針所指值時，羅茨泵立即會自動停機，這樣就可實現(xiàn)羅茨泵的自動過載保護，從而可以避免機組出現(xiàn)過載和過熱而導致機組發(fā)生故障。